特許
J-GLOBAL ID：200903035922112782
光学特性測定ユニット、透過特性測定装置、反射特性測定装置、エリプソメータ、透過特性測定方法および反射特性測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大垣 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-347769
公開番号（公開出願番号）：特開平11-183320
出願日： 1997年12月17日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：
【要約】【課題】 入射角を任意に変えながら透過率等を従来に比べて簡易に測定する。【解決手段】 第1〜第4の反射面M1〜M4を、これらを経る光路がN字状となるようにかつM1に入射される入射光とM4から出射される出射光とが同軸となるように、配置する。入射光の入射点Aおよび出射点Dを結ぶ線分と、M2からM3に進む光線の軌道との交点を光学系中心Oとする。M2を光学系中心Oと入射点Aとを焦点とする第1の回転楕円面により構成する。M3を光学系中心Oと出射点Dとを焦点とする第2の回転楕円面により構成する。M1およびM4の配置位置A,D各々で、前記N字状の光路を含む平面に直交する軸をそれぞれ中心として、M1およびM4を連動させて回転する反射面回転装置31を具える。M2およびM3間の所定位置に被測定物33を入れ出しする物体移動装置35を具える。
請求項（抜粋）：
入射光を順に反射する第1〜第4の反射面と、前記第1の反射面および前記第4の反射面を回転させる反射面回転装置と、被測定物を前記第2の反射面および第3の反射面間に入れ出しする物体移動装置とを具え、前記第1〜第4の反射面を、前記第1〜第4の反射面を経る光路がN字状となるように、かつ、前記第1の反射面に入射される入射光と前記第4の反射面から出射される出射光とが同軸となるように、配置してあり、前記第1および第4の反射面それぞれを、前記N字状の光路を含む平面に対して垂直に配置した反射面としてあり、前記入射光の前記第1の反射面での入射点および前記第4の反射面での出射点を結ぶ線分と、前記第2の反射面から前記第3の反射面に進む光線の軌道との交点を、光学系中心と定義したとき、前記第2の反射面を、前記光学系中心と前記第1の反射面での前記入射光の入射点とを焦点とする第1の回転楕円面により構成してあり、前記第3の反射面を、前記光学系中心と前記第4の反射面での前記出射光の出射点とを焦点とする第2の回転楕円面により構成してあり、前記反射面回転装置を、前記第1および第4の反射面の配置位置各々で前記N字状の光路を含む平面に直交する軸をそれぞれ中心として、前記第1および第4の反射面を連動させて回転する装置としてあり、前記物体移動装置を、前記被測定物の被測定面が前記光学系中心を含む位置になるように前記被測定物を前記第2および第3の反射面間に挿入する挿入状態と、挿入しない非挿入状態とを選択的に形成する装置としてあることを特徴とする光学特性測定ユニット。
IPC (5件)：
G01M 11/00
, G01J 4/00
, G01N 21/01
, G01N 21/47
, G01N 21/59
G01M 11/00 T
, G01J 4/00
, G01N 21/01 B
, G01N 21/47 Z
, G01N 21/59 Z
