特許

J-GLOBAL ID：200903035928539559

液晶装置用基板の製造方法

発明者： 松尾 睦
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 上柳 雅誉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-233068
公開番号（公開出願番号）：特開2002-049026
出願日： 2000年08月01日
公開日（公表日）： 2002年02月15日
要約：

【要約】【課題】 適切な高低差を有する平坦領域と粗面領域とが形成可能な液晶装置用基板の製造方法を提供すること。【解決手段】 反射膜あるいは反射電極を形成するガラス基板1において、液晶と対向する表面のうち、液晶装置の表示領域に相当する領域を除いた領域にフォトレジスト13aが積層される(図3(a)および図3(b))。続いて、表面がエッチングされ、フォトレジスト13aによって覆われた領域以外の領域が粗面化される(図3(c))。そして、フォトレジスト13aが除去された後(図3(d))、平坦領域14と粗面領域11との高低差が5μm以下の所望の高低差となるように、平坦領域14のみが研磨される(図3(e))。

請求項（抜粋）：

液晶層を挟持する一対の基板のうち、観察側とは反対側に位置する液晶装置用基板の製造方法であって、基板の前記液晶層側の表面の一部をマスク材によって覆い、当該マスク材によって覆われた領域以外の該表面の領域を粗面化することによって、微細な山部および谷部を有する粗面領域を形成し、前記基板から前記マスク材を除去し、前記基板の表面のうち前記マスク材が除去された領域を研磨することにより、前記粗面領域と所定の範囲内の高低差を有する平坦領域を形成することを特徴とする液晶装置用基板の製造方法。

Fターム (9件)：

2H090HB08Y ,  2H090JA02 ,  2H090JB02 ,  2H090LA04 ,  2H090LA09 ,  2H090LA16 ,  2H090LA17 ,  2H090LA20 ,  2H090MB01