特許

J-GLOBAL ID：200903035929197775

インクジェット記録ヘッドの製造方法、インクジェット記録ヘッド、およびインクジェット記録装置

発明者： 榮田 正孝
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 金田 暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-353398
公開番号（公開出願番号）：特開2002-154210
出願日： 2000年11月20日
公開日（公表日）： 2002年05月28日
要約：

【要約】【課題】 非常に小さなインク滴の吐出が可能で、かつ、インク滴の着弾精度を向上させる。【解決手段】 まず、金属基板9上に、SiO2やTiO2、ZrO2などの無機物をアルコキシド、メトキシド、プロキシドをn-メチルプロピドン等の溶媒に溶解し、エポキシ系の感光性樹脂との溶解物をスピンコートし、プリベークすることで第1の層10を形成する。次に、第1の層10上に、再度エポキシ系のポジ型の感光性樹脂で第2の層11を形成する。次に、吐出口3の直径の領域内のみ露光光を透過するマスク22にて紫外線露光を行う。次に、グラデーション部25をもったグラデーションマスク23にてさらに紫外線露光を行う。次に、露光部を除去し、硬化処理を行う。最後に、金属基板9を希塩酸等により溶解することで、直線部12と曲線部14とが形成された吐出口3を有するオリフィスプレート1が得られる。

請求項（抜粋）：

インクを吐出させるために利用されるエネルギを発生するエネルギ発生素子を備えた液流路が形成されたインクジェット記録素子と、前記インクジェット記録素子に接合され、前記各液流路に対応する部位にそれぞれ、前記各液流路と連通する複数のオリフィスが形成されたオリフィスプレートとを有するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記オリフィスプレートとなるべき感光性樹脂の熱膨張係数と略等しい熱膨張係数の金属基板上に、前記感光性樹脂からなる少なくとも1層の感光性樹脂層を形成する工程と、前記各オリフィスの最小径に対応する部分と前記各オリフィスの最大径に対応する部分との間での露光光の透過率が序々に変化しているような透過率分布をもつグラデーションマスクを用いて、前記感光性樹脂層を露光処理し、前記オリフィスの側断面の一部が曲線となるように前記各オリフィスを形成する工程とを含むことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。

IPC (3件)：

B41J 2/135 ,  G03F 1/08 ,  G03F 7/20 501

FI (3件)：

G03F 1/08 G ,  G03F 7/20 501 ,  B41J 3/04 103 N

Fターム (22件)：

2C057AF30 ,  2C057AF93 ,  2C057AG02 ,  2C057AG05 ,  2C057AG12 ,  2C057AP02 ,  2C057AP13 ,  2C057AP25 ,  2C057AP37 ,  2C057AP47 ,  2C057AP57 ,  2C057AQ04 ,  2H095BA12 ,  2H095BB02 ,  2H095BB32 ,  2H095BB36 ,  2H095BC09 ,  2H097BB01 ,  2H097FA01 ,  2H097JA02 ,  2H097JA03 ,  2H097LA20