特許
J-GLOBAL ID：200903035930050303
電子線露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-297168
公開番号（公開出願番号）：特開平7-153655
出願日： 1993年11月29日
公開日（公表日）： 1995年06月16日
要約：
【要約】【目的】電子線でパターンを描画する電子線露光装置において、試料11に描画すべきパターンに繰返しパターンが無く種々のパターンで構成されていても短時間の露光で転写できることを図る。【構成】極めて小さい電子放出口である開口27を細かいピッチで縦横に多数並べ配設された電子放出装置1と、この開口27内の電子放出素子24を任意に選びそれぞれ独立に電子励起電圧を印加する制御電源である印加制御部2および印加電源3とを設け、電子放出素子24の数および位置座標を予じめプログラムを行なって電子放出装置1を動作させることによって、いかなる種類のパターン含んでもあるいは繰返しパターンの有無にかかわらず分割された領域のパターンを同一露光時間で露光し全体のパターンの転写を完成する。
請求項（抜粋）：
平板状の引出し電極とこの引出し電極の一主面に縦横に並べ形成される複数の開口のそれぞれに先端部を露呈する複数の電子放出素子とを具備する電子放出装置と、前記引出し電極と任意の前記電子放出素子を選びこれらの間に電圧を印加しそれぞれ独立に該電子放出素子より電子を放出させる制御電源と、放出された該電子を加速する加速電極と、加速された該電子の束でなる電子線を収束する収束手段と、収束された該電子線を偏向する偏向手段とを備えることを特徴とする電子線露光装置。
FI (3件)：
H01L 21/30 541 B
, H01L 21/30 541 W
, H01L 21/30 541 M
