特許
J-GLOBAL ID：200903035930562347
ターボ分子真空ポンプ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川口 義雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-210660
公開番号（公開出願番号）：特開平8-068388
出願日： 1995年08月18日
公開日（公表日）： 1996年03月12日
要約：
【要約】【課題】 剛性のあるロータを持ち、小型で、ガスの抜けが少ないポンプを提供する。【解決手段】 ステータ(6、8)とロータ(1)とを含み、ロータが鐘型能動部分(3)と中央軸(5)とを含み、ステータが、外側部(6)と、鐘型能動部分(3)の空隙部(9)に入り駆動モータのステータ部分(10、11)を支持する内側部(8)とを含み、ロータの軸(5)が駆動モータのロータ部分を支持するターボ分子真空ポンプであって、中央軸(5)とロータの鐘型能動部分(3)とが組み立てる必要のない一体型でありかつ非磁性材質からなり、軸(5)が、円筒形永久磁石(12)から成る駆動モータのロータ部分を収納する中央内径部(13)を含むことを特徴とするターボ分子真空ポンプ。
請求項（抜粋）：
鐘型能動部分(3)と中央軸(5)とを含むロータ(1)と、外側部(6)と、前記鐘型能動部分(3)の空隙部(9)に入り駆動モータのステータ部分(10、11)を支持する内側部(8)とを含むステータ(6,8)とを備えており、前記ロータの軸(5)が前記駆動モータのロータ部分を支持するターボ分子真空ポンプであって、前記中央軸(5)とロータの鐘型能動部分(3)とが組み立てる必要のない一体型でありかつ非磁性材質からなり、前記軸(5)が、円筒形永久磁石(12)から成る、前記駆動モータのロータ部分を収納する中央内径部(13)を含むことを特徴とするターボ分子真空ポンプ。
引用特許：
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