特許

J-GLOBAL ID：200903035930971565

酸化インジウム・酸化錫焼結体の製造方法

発明者： 高梨 昌二
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
代理人 (1件)： 山本 正緒
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-304492
公開番号（公開出願番号）：特開平10-147861
出願日： 1996年11月15日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：

【要約】【課題】 スパッタリング中の異常放電の発生及びノジュールの生成が少ない、ターゲット用の酸化インジウム・酸化錫焼結体の製造方法を提供する。【解決手段】 微細なIn2O3粉末とSnO2粉末を、湿式ボールミルにより(1)使用するボールの直径が3〜10mm、(2)原料粉末に対して添加する水分量が重量比で1.8〜2.0倍、(3)原料粉末に対して添加するボール量が重量比で3.0〜5.0倍、(4)原料粉末と水とボールの合計量がポット容積の40〜60%、(5)混合時間が12〜72時間の条件で混合し、乾燥造粒して、酸素雰囲気中で焼結する。

請求項（抜粋）：

In2O3粉末とSnO2粉末を湿式混合し、乾燥造粒して成形した後、酸素雰囲気中で焼結する酸化インジウム・酸化錫焼結体の製造方法において、比表面積20m2/g以上のIn2O3粉末と比表面積5m2/g以上のSnO2粉末とを原料粉末とし、原料粉末を湿式ボールミルにて混合する際に、(1) 使用するボールの直径が3〜10mm、(2) 原料粉末に対して添加する水分量が重量比で1.8〜2.0倍(3) 原料粉末に対して添加するボール量が重量比で3.0〜5.0倍(4) 原料粉末と水とボールの合計量がポット容積の40〜60%(5) 混合時間が12〜72時間の条件で混合することを特徴とする酸化インジウム・酸化錫焼結体の製造方法。