特許
J-GLOBAL ID：200903035944007664
永久保護膜形成用積層フィルム及びこれを用いた永久保護膜の製造法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-043399
公開番号（公開出願番号）：特開平11-240109
出願日： 1998年02月25日
公開日（公表日）： 1999年09月07日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 導体パターン(回路)の形成された基板の表面の凹凸への感光層の追従性が良好で解像性を向上でき、高精細、高品位の永久保護膜を前記基板上に作業性よく形成することができる永久保護膜形成用積層フィルムの提供。【解決手段】 感光層が(a)カルボキシル基含有フィルム性付与ポリマ、(b)エチレン性不飽和化合物、(c)光重合開始剤及び(d)加熱により(a)成分のカルボキシル基と反応可能な官能基を2個以上有する化合物を含んだ感光性樹脂組成物から構成される層である永久保護膜形成用積層フィルムを、感光層と基板とが接するように基板上にラミネートし、次いで、像状露光、第1のフィルムのはく離、現像、熱による後硬化を行う。
請求項（抜粋）：
感光層及び80°Cにおける単位幅あたりの5%伸び荷重(フィルム長手方向の値とし以下L5値と称する)が4〜90g/mm、破断伸び(フィルム長手方向の値とし以下同じ)が50〜1000%である第1のフィルムを有する積層フィルムにおいて、感光層が(a)カルボキシル基含有フィルム性付与ポリマ、(b)エチレン性不飽和化合物、(c)光重合開始剤及び(d)加熱により(a)成分のカルボキシル基と反応可能な官能基を2個以上有する化合物を含んだ感光性樹脂組成物から構成される層であることを特徴とする永久保護膜形成用積層フィルム。
IPC (10件)：
B32B 27/00
, C09D 5/00
, C09D133/06
, C09D175/16
, C09D201/02
, G03F 7/004 512
, B05D 1/32
, C08L 33/06
, C08L 75/16
, C08L101/02
B32B 27/00 A
, C09D 5/00 C
, C09D133/06
, C09D175/16
, C09D201/02
, G03F 7/004 512
, B05D 1/32 Z
, C08L 33/06
, C08L 75/16
, C08L101/02
