特許

J-GLOBAL ID：200903035946379640

光導波路デバイス及びその製造方法

発明者： 前田 明雄
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 松本 昂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-199712
公開番号（公開出願番号）：特開2005-043402
出願日： 2003年07月22日
公開日（公表日）： 2005年02月17日
要約：

【課題】信号電極及び接地電極を形成するための、メッキ膜厚を一様に形成することが可能な光導波路デバイスの製造方法を提供することである。【解決手段】光導波路デバイスの製造方法であって、電気光学効果を有するウエハ中に複数の光導波路を形成し、各光導波路に関連してウエハ上に複数の信号電極及び複数の接地電極を形成する。この信号電極及び接地電極の形成と同時に、全ての信号電極及び接地電極の周囲を電気的に離間して包囲するダミー電極をウエハ上に形成する。そして、ウエハをダイシングして個々の光導波路デバイスに分離する。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

光導波路デバイスの製造方法であって、 電気光学効果を有するウエハ中に複数の光導波路を形成し、 前記各光導波路に関連して前記ウエハ上に複数の信号電極及び複数の接地電極を形成し、 前記信号電極及び接地電極の形成と同時に、全ての信号電極及び接地電極の周囲の前記ウエハ上にダミー電極を形成し、 前記ウエハをダイシングして個々の光導波路デバイスに分離する、 各ステップを含むことを特徴とする光導波路デバイスの製造方法。

IPC (3件)：

G02F1/035 ,  G02B6/12 ,  G02F1/03

FI (3件)：

G02F1/035 ,  G02F1/03 505 ,  G02B6/12 J

Fターム (13件)：

2H047PA24 ,  2H079AA03 ,  2H079AA12 ,  2H079BA01 ,  2H079BA03 ,  2H079CA05 ,  2H079DA03 ,  2H079EA03 ,  2H079EA05 ,  2H079EB05 ,  2H079HA14 ,  2H079HA15 ,  2H079JA04