特許
J-GLOBAL ID：200903035948222225
ダイヤモンドの欠陥除去方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松田 正道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-198591
公開番号（公開出願番号）：特開平6-048716
出願日： 1992年07月24日
公開日（公表日）： 1994年02月22日
要約：
【要約】【目的】ダイヤモンドに存在する格子欠陥やグラファイトなどの非ダイヤモンド成分を除去する方法の提供。【構成】ダイヤモンドあるいは基板素材上のダイヤモンド薄膜101に、酸素又は水素雰囲気下でエキシマレーザ光の紫外線104を照射する。
請求項（抜粋）：
ダイヤモンドあるいは基板素材上のダイヤモンド薄膜に、紫外線を照射することを特徴とするダイヤモンドの欠陥除去方法。
IPC (2件)：
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