特許

J-GLOBAL ID：200903035949031776

照明光学装置、露光装置、光学部材の保管容器、露光装置の組立方法、材料の評価方法、フィルタの評価方法及び評価装置

発明者： 押川 識
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外1名)
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2000005245
公開番号（公開出願番号）：WO2001-011665
出願日： 2000年08月04日
公開日（公表日）： 2001年02月15日
要約：

【要約】本発明の照明光学装置は、対象物を照明するエネルギビームの光路を囲む第1空間(SP1)と、第1空間(SP1)を囲む第2空間(SP2)と、第2空間(SP2)を囲む第3空間(SP3)とを備える。第1〜第3空間(SP1、SP2、SP3)のそれぞれが、各空間内の不純物質の濃度が互いに異なる目標値により管理される。これにより、アクチュエータ等を有する汚染源になりやすい領域を分けて管理でき、光路を囲む領域のケミカルクリーン度を向上できる。

請求項（抜粋）：

対象物を照明するエネルギビームの光路を囲む第1室と、前記第1室を囲む第2室とを備える装置本体を有し、該装置本体が第3室内に配置される光学装置であって、 前記第1、第2、第3室のそれぞれの空間は、不純物質の濃度が互いに異なる目標値により管理される。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 515 D ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 516 F