静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット記録装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：稲元富保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-015759
公開番号（公開出願番号）：特開2001-205806
出願日： 2000年01月25日
公開日（公表日）： 2001年07月31日
要約：

【要約】【課題】高速駆動が困難になる。【解決手段】振動板50と対向する電極53のシート抵抗を200Ω以下にした。

請求項（抜粋）：

振動板とこの振動板に対向する電極とを有する静電アクチュエータにおいて、前記電極のシート抵抗が200Ω以下であることを特徴とする静電アクチュエータ。

IPC (4件)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16 , H01L 41/09

FI (4件)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H , H01L 41/08 L , H01L 41/08 U

Fターム (12件)：

2C057AF03 , 2C057AF93 , 2C057AG54 , 2C057AP02 , 2C057AP11 , 2C057AP26 , 2C057AP34 , 2C057AP51 , 2C057AQ02 , 2C057BA05 , 2C057BA14 , 2C057BA15

引用特許：

審査官引用 (1件)

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