特許
J-GLOBAL ID：200903035959918000
定盤平坦度検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
塩川 修治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-055235
公開番号（公開出願番号）：特開平8-215985
出願日： 1995年02月21日
公開日（公表日）： 1996年08月27日
要約：
【要約】【目的】 研磨用定盤の表面における研磨領域の平坦度を、連続的且つ定量的に測定された測定データに基づいて高精度に検出できるようにすること。【構成】 表面の研磨領域2に溝部4を備えた研磨用定盤1に設置可能とされ、上記定盤の研磨領域及び研磨領域外部3にわたる変位を、この定盤を横断するように連続的且つ定量的に測定可能とする変位測定装置11と、変位測定装置からの多数の測定データを取り込み、このうち定盤の研磨領域端部5間を測定した多数の測定データのうち、溝部を測定した測定データを、その直前の順番の定盤研磨領域を測定した測定データの値に置換して、溝部を測定した測定データを除去し、この溝部を測定した測定データが除去された測定データ群から最大値と最小値の差を演算して、定盤表面の研磨領域の平坦度を演算するデータ処理装置12とを有するものである。
請求項（抜粋）：
表面の研磨領域に溝部を備えた研磨用定盤に設置可能とされ、上記定盤の研磨領域とその外部にわたって、この定盤を横断するように連続的且つ定量的に該測定装置から対象物までの距離を測定する変位測定装置と、この変位測定装置からの多数の測定データを取り込み、このうち上記定盤の研磨領域端部間を測定した多数の測定データのうち、上記溝部を測定した測定データを、その直前の順番の上記定盤研磨領域を測定した測定データの値に置換して、上記溝部を測定した測定データを除去し、この溝部を測定した測定データが除去された測定データ群から最大値と最小値の差を演算して、上記定盤表面の平坦度を演算するデータ処理装置と、を有することを特徴とする定盤平坦度検出装置。
IPC (3件)：
B23Q 17/00
, B24B 37/04
, B24B 49/12
B23Q 17/00 Z
, B24B 37/04 A
, B24B 49/12
