特許

J-GLOBAL ID：200903035961121365

固相と気相との相互反応のシミュレーション方法

発明者： 早川 康一
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 高月 亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-266203
公開番号（公開出願番号）：特開平8-106449
出願日： 1994年10月05日
公開日（公表日）： 1996年04月23日
要約：

【要約】【目的】 実用上必要な程度の精度を有し、かつ複雑すぎることなく比較的短時間に結果を得ることができる固相と気相との相互反応のシミュレーション方法を提供する。【構成】 箱形や球形のモデルで近似した固相より成る下地と、該固相に入射する気相粒子との相互反応をシミュレーションする場合、下地固相の粒子の属性を決定し(2)、気相粒子が付着した下地粒子に応じてその挙動を決定する(3)(4)(61)〜(64)工程とを備えるシミュレーション方法。

請求項（抜粋）：

固相より成る下地と、該固相に入射する気相粒子との相互反応のシミュレーション方法において、下地固相の粒子の属性を決定し、気相粒子が付着した下地粒子に応じてその挙動を決定する工程とを備えることを特徴とするシミュレーション方法。

IPC (4件)：

G06F 17/00 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/30 ,  H01L 21/302

FI (2件)：

G06F 15/20 D ,  H01L 21/302