慣性センサー

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：波多野久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-049519
公開番号（公開出願番号）：特開平5-248872
出願日： 1992年03月06日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：

【要約】【目的】本発明は、小型軽量の振動ジャイロとして適用できるとともに、加速度センサーとしても適用できる慣性センサーを提供することを目的とする。【構成】基板6上に導電性材料のパターニング加工により間隔的に形成された複数の脚部1と、同パターニング加工により形成され基板6上に浮いた状態で脚部1間を連結するアーム部2と、脚部1の中間に配置してアーム部2に支持され基板6上に浮いた状態とされた質量部3とにより慣性機構部9を形成する。この慣性機構部9を駆動する手段とその動きを検知する手段との両者、または前記慣性機構部の動きを検知する手段のみを備える。

請求項（抜粋）：

基板上にパターニング加工により間隔的に形成された複数の脚部と、同パターニング加工により形成され前記基板上に浮いた状態で前記脚部間を連結するアーム部と、前記脚部の中間に配置して前記アーム部に支持され前記基板上に浮いた状態とされた質量部とにより慣性機構部を形成し、前記慣性機構部の動きを検知する手段を備えてなることを特徴とする慣性センサー。

引用特許：

審査官引用 (4件)

特許第5016072号
特開昭60-213814
特開昭60-192206

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