特許

J-GLOBAL ID：200903035974044025

共焦点光学装置

発明者： 守屋 正人
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-040165
公開番号（公開出願番号）：特開平8-233544
出願日： 1995年02月28日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：

【要約】【目的】ピンホール光源光のコヒーレンスを実質的に下げることで、S/N比、ピンホール光源光の開口数、計測分解能を向上させる。【構成】光源1と、この光源から発した光を通過させて点光源光にする複数の開口を有する第1のピンホールアレイPH1と、この第1のピンホールアレイPH1の開口を通過した光を被計測物体7上に集光するレンズ5と、この被計測物体7上の集光面に共役な面に位置し前記第1のピンホールアレイの各開口に対応した位置に複数の開口を有する第2のピンホールアレイPH2と、この第2ピンホールアレイPH2の各開口部を通過した光を検出する複数の光検出器を有する光検出器アレイ9とを有する共焦点光学装置において、前記光源1と第1のピンホールアレイPH1の間に配設され、光源1からの光を拡散する光拡散手段30と、この光拡散手段30を振動または回転させる駆動手段40とを具える。

請求項（抜粋）：

光源と、この光源から発した光を通過させて点光源光にする複数の開口を有する第1のピンホールアレイと、この第1のピンホールアレイの開口を通過した光を被計測物体上に集光するレンズと、この被計測物体上の集光面に共役な面に位置し前記第1のピンホールアレイの各開口に対応する複数の位置に複数の開口を有する第2のピンホールアレイと、この第2ピンホールアレイの各開口部を通過した光を検出する複数の光検出器を有する光検出器アレイとを有する共焦点光学装置において、前記光源と第1のピンホールアレイの間に配設され、光源からの光を拡散する光拡散手段と、この光拡散手段を振動または回転させる駆動手段と、を具えるようにしたことを特徴とする共焦点光学装置。