特許

J-GLOBAL ID：200903035978238193

プローブカードデバイス

発明者： 萩原 順一
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-312198
公開番号（公開出願番号）：特開平9-153528
出願日： 1995年11月30日
公開日（公表日）： 1997年06月10日
要約：

【要約】【課題】広い面積にわたって被検査体の電極パッドに接触バンプをコンタクトさせる場合でも、全ての接触バンプを電極パッドに確実に接触させることができるプローブカードデバイスを提供することにある。【解決手段】可撓性および絶縁性を有する膜に複数の電極パッド52に対応するように、前記複数の電極パッドに接触させるための接触バンプ群15aを有するプローブカード15と、前記プローブカード5の裏面を半導体ウェハに向けて押圧するための押圧機構14とを具備し、前記押圧機構14は、前記プローブカードの裏面に設けられた押え部材35と、この押え部材35に設けられ前記プローブカードの裏面に対面するエラストマ37と、このエラストマ37の表面に凹条溝38を形成することにより区画された前記接触バンプ群15aに対応する独立した押圧エリア39とから構成したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

複数の電極パッドを有する被検査体の電極パッドに接触バンプを接触させて前記被検査体の電気特性を検査するためのプローブカードデバイスにおいて、可撓性および絶縁性を有する膜に前記被検査体の複数の電極パッドに対応するように、前記複数の電極パッドに接触させるための接触バンプ群を有するプローブカードと、前記プローブカードの裏面を前記被検査体に向けて押圧するための押圧機構とを具備し、前記押圧機構は、前記プローブカードの裏面に設けられた押え部材と、この押え部材に設けられ前記プローブカードの裏面に対面する弾性シートと、この弾性シートの表面に切込みを形成することにより区画された前記接触バンプ群に対応する独立した押圧エリアとから構成したことを特徴とするプローブカードデバイス。

IPC (4件)：

H01L 21/66 ,  G01R 1/073 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/28

FI (5件)：

H01L 21/66 B ,  G01R 1/073 E ,  G01R 1/073 F ,  G01R 31/26 J ,  G01R 31/28 K