特許
J-GLOBAL ID：200903035981930600
基板処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-276823
公開番号（公開出願番号）：特開平6-104327
出願日： 1992年09月22日
公開日（公表日）： 1994年04月15日
要約：
【要約】【目的】 装置全長を短くしかつ占有面積を小さくするとともに基板の搬入搬出作業用のクリーンルームを共通化できる基板処理装置を提供する。【構成】 処理すべき基板を搬入するローディングチャンバー30と、搬入された基板を処理する複数のプロセスチャンバー31,32,34,35と、処理終了後の基板を搬出するアンローディングチャンバー36と、基板を各チャンバーに順次受渡しするための搬送手段とを具備した基板処理装置において、前記複数のプロセスチャンバー32,34間に基板の搬送方向を変更するための方向変換手段33を設けた。
請求項（抜粋）：
処理すべき基板を搬入するローディングチャンバーと、搬入された基板を処理する複数のプロセスチャンバーと、処理終了後の基板を搬出するアンローディングチャンバーと、基板を各チャンバーに順次受渡しするための搬送手段とを具備した基板処理装置において、前記複数のプロセスチャンバー間に基板の搬送方向を変更するための方向変換手段を設けたことを特徴とする基板処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, H01L 21/205
, H01L 21/203
