特許
J-GLOBAL ID：200903035992272388
無電解銅めっき方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 祥泰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-040478
公開番号（公開出願番号）：特開平6-228760
出願日： 1993年02月04日
公開日（公表日）： 1994年08月16日
要約：
【要約】【目的】 めっき未反応状態やバラツキを生じることなく,めっき膜形成時の反応安定性に優れた無電解銅めっき方法を提供すること。【構成】 銅イオン錯化剤としてトリエタノールアミンを含有する無電解銅めっき液に対し被めっき物を浸漬し,これに攪拌用ガスを直接当てながら無電解めっきを行う。無電解銅めっき液中に被めっき物を投入する際には,攪拌用ガスの吹き込みを停止する。攪拌用ガスの停止時間は20〜300秒とすることが好ましい。攪拌用ガスを噴出させるノズル孔におけるノズル径は,1.0〜5.0mmとすることが好ましい。
請求項（抜粋）：
銅イオン錯化剤としてトリエタノールアミンを含有する無電解銅めっき液に対し被めっき物を浸漬し,該被めっき物に攪拌用ガスを直接当てながら無電解めっきを行う無電解銅めっき方法であって,上記無電解銅めっき液中に被めっき物を投入する際には,上記攪拌用ガスの吹き込みを停止することを特徴とする無電解銅めっき方法。
IPC (3件)：
C23C 18/40
, C23C 18/31
, H05K 3/18
