ワイヤソー用溝付ローラの溝形状測定方法及び装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-145863
公開番号（公開出願番号）：特開平9-323321
出願日： 1996年06月07日
公開日（公表日）： 1997年12月16日
要約：

【要約】【課題】実機と略同じ条件で溝形状を測定することにより、正確な溝の磨耗量を得る。【解決手段】実機のワイヤの直径と等しい測定用ワイヤ46を溝付ローラ32の複数の溝33に巻き掛け、そして、スプリング50によって測定用ワイヤ46の張力を設定したのち、この状態の溝33の形状を形状測定装置10によって測定する。前記スプリング50による測定用ワイヤ46の張力は、溝付ローラ32の溝33に巻き掛けられる実機のワイヤの張力と同一に設定する。

請求項（抜粋）：

一方のワイヤリールから繰り出されたワイヤを複数台の溝付ローラの溝に巻き掛けてワイヤ列を形成し、他方のワイヤリールに巻き取ると共に、前記ワイヤ列に砥粒を含む加工液を供給して被加工物を押し当てることにより、前記被加工物を多数のウェーハに切断するワイヤソー用溝付ローラの溝形状測定方法に於いて、前記ワイヤの直径と等しい測定用ワイヤを前記溝付ローラの溝に所定の張力で巻き掛けたのち、形状測定手段によって溝付ローラの溝形状を測定することを特徴とするワイヤソー用溝付ローラの溝形状測定方法。

IPC (4件)：

B28D 7/00 , B24B 27/06 , B28D 5/04 , G01B 21/00

FI (4件)：

B28D 7/00 , B24B 27/06 G , B28D 5/04 C , G01B 21/00 W

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