特許

J-GLOBAL ID：200903035997167973

走査型プローブ顕微鏡

発明者： 森本 高史 ,  村山 健 ,  小野里 陽正 ,  白井 隆 ,  黒田 浩史
出願人/特許権者： 日立建機株式会社
代理人 (1件)： 田宮 寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-102775
公開番号（公開出願番号）：特開平10-282127
出願日： 1997年04月04日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：

【要約】【課題】 探針の試料への接近動作において、探針が試料に衝突することなく安全に接近でき、かつ接近時間を短縮できる走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】 探針14と試料11を物理的影響(トンネル電流や原子間力など)が生じる程度に接近させた状態で探針を試料表面に沿って走査させ、探針の位置変化の情報に基づいて試料の表面情報を得、試料表面を観察する装置であって、探針の試料への接近動作を行う前の段階で、観察しようとする試料の測定面の高さ位置を事前に測定する高さ測定器18を備える。

請求項（抜粋）：

探針と試料を物理的影響が生じる程度に接近させた状態で前記探針を試料表面に沿って走査させ、前記探針の位置変化の情報に基づいて前記試料の表面情報を得る走査型プローブ顕微鏡において、前記試料の測定面位置を測定する測定器を備えることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (4件)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/00 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28

FI (5件)：

G01N 37/00 F ,  G01N 37/00 B ,  G01B 21/00 A ,  G01B 21/30 Z ,  H01J 37/28 Z