特許
J-GLOBAL ID：200903035998195229
洗浄方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松川 克明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-001472
公開番号（公開出願番号）：特開2001-192699
出願日： 2000年01月07日
公開日（公表日）： 2001年07月17日
要約：
【要約】【課題】 非水系溶液を用いて洗浄した被洗浄物を水系溶液中において更に洗浄させる場合に、水系溶液中に非水系溶液が入り込んで水系溶液が早い時期に劣化するのを抑制して、水系溶液による被洗浄物の洗浄が長期にわたって適切に行えるようにし、被洗浄物を洗浄する作業の効率を高めると共に、ランニングコストを低減させる。【解決手段】 非水系溶液を用いて被洗浄物を洗浄する非水系洗浄工程と、この非水系洗浄工程後において上記の被洗浄物を水系溶液を用いて洗浄する水系の洗浄工程とを有する洗浄方法において、上記の非水系洗浄工程と水系洗浄工程との間に、上記の非水系溶液と水系溶液との双方に溶解性を有する溶液を用いて被洗浄物を洗浄する中間洗浄工程を行うようにした。
請求項（抜粋）：
非水系溶液を用いて被洗浄物を洗浄する非水系洗浄工程と、この非水系洗浄工程後において上記の被洗浄物を水系溶液を用いて洗浄する水系洗浄工程とを有する洗浄方法において、上記の非水系洗浄工程と水系洗浄工程との間に、上記の非水系溶液と水系溶液との双方に溶解性を有する溶液を用いて被洗浄物を洗浄する中間洗浄工程を行うことを特徴とする洗浄方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (17件)：
3B201AA01
, 3B201AB01
, 3B201BB02
, 3B201BB11
, 3B201BB83
, 3B201BB92
, 3B201BB93
, 3B201CB15
, 3B201CC21
, 4H003DA15
, 4H003DA16
, 4H003DC04
, 4H003ED02
, 4H003ED03
, 4H003ED28
, 4H003ED30
, 4H003FA45
