特許

J-GLOBAL ID：200903036006752128

極紫外リソグラフィー用の多重層反射性コーティング用不動態化オーバーコート二重層

発明者： クロード、モントカーム ,  ダニエル、ジー.スターンズ ,  スティーブン、ピー.バーノン
出願人/特許権者： ザ、リージェンツ、オブ、ザ、ユニバーシティ、オブ、カリフォルニア
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-519798
公開番号（公開出願番号）：特表2001-523007
出願日： 1998年11月10日
公開日（公表日）： 2001年11月20日
要約：

【要約】不動態化オーバーコート二重層が、多重層コーティングの酸化および腐食を防止するために、極紫外(EUV)または軟X線用途のための多重層反射性コーティング用に使用され、それによってEUV光学性能が改善される。このオーバーコート二重層は、酸化および腐食に抵抗性を示す元素材料または化合物材料の少なくとも一つの上層の下にシリコンまたはベリリウムの層を含んでなる。上層の材料として、炭素、パラジウム、炭化物、硼化物、窒化物および酸化物が挙げられる。オーバーコート二重層を形成する二つの層の厚さは、操作する波長範囲で、最高の反射率をもたらすように最適化される。三またはそれより多い層を含んでなる保護オーバーコート系も可能である。

請求項（抜粋）：

多重層反射性コーティング上に堆積されたシリコンまたはベリリウムを含む下層、および下層上に堆積された少なくとも1つの上層を含んでなり、この上層は酸化および腐食に抵抗性を示し、かつその下側の層を酸化から保護する材料を含む、極紫外または軟X線用途に使用するために設計された多重層反射性コーティング用不動態化オーバーコート二重層。

IPC (2件)：

G21K 1/06 ,  G02B 5/08

FI (2件)：

G21K 1/06 C ,  G02B 5/08 A

Fターム (4件)：

2H042DA01 ,  2H042DA12 ,  2H042DA18 ,  2H042DE04