特許
J-GLOBAL ID：200903036012525761
CVD反応炉の加熱装置の電磁遮蔽方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-268101
公開番号（公開出願番号）：特開平7-106319
出願日： 1993年09月30日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：
【要約】【目的】 高周波電源を有する各種のCVD反応炉の加熱装置に対して、その電磁界を有効に電磁遮蔽する。【構成】 加熱装置2の上側セラミック絶縁板23b と加熱ヒーター24との間に、適当な金属の遮蔽板7と中間セラミックス絶縁板23c を付加し、遮蔽板7を接地Eに接続して、高周波電圧vが発生する電磁界に対して加熱ヒーター24とその周辺を電磁遮蔽する。遮蔽板7は、約1mmの厚さを有するアルミニウム円板とする。【効果】 従来しばしば発生した電流制御回路53の故障とサーキットブレーカ54の誤動作が排除され、加熱装置2の動作が安定化される。
請求項（抜粋）：
被処理のウエハを載置する均熱板と、該均熱板の下側に設けられ、上側と下側の2枚のセラミック絶縁板の間に保持された加熱ヒーター、該均熱板に設けた温度センサ、該温度センサの温度信号により、該加熱ヒーターに対するAC電流を制御する電流制御回路よりなる加熱装置と、サーキットブレーカを有し、該加熱装置に対してAC電流を供給するAC電流供給部、および、前記均熱板を接地電位とし、該均熱板の上方に設けたシャワー電極に高周波電圧を加圧する高周波電源とを具備するCVD反応炉において、前記加熱装置に対して、前記上側セラミック絶縁板と加熱ヒーターとの間に、適当な金属の遮蔽板と中間セラミックス絶縁板を付加し、該遮蔽板を接地して、前記高周波電圧が発生する電磁界に対して、前記加熱ヒーターとその周辺を電磁遮蔽することを特徴とする、CVD反応炉の加熱装置の電磁遮蔽方法。
IPC (3件)：
H01L 21/31
, C23C 16/44
, H01L 21/205
