電極検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小西淳美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-269224
公開番号（公開出願番号）：特開平11-094918
出願日： 1997年09月17日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：

【要約】【課題】電極パターンの良否を判定するとともに不良位置を特定することができ検査を短時間で済ますことができる電極検査装置を提供する。【解決手段】基板上に形成された電極パターンの所定箇所に接触して電気的な接続を行う複数の接触端子と、前記複数の接触端子の内の少なくとも一対の接触端子に所定電力を供給する電力供給手段と、前記基板上の温度分布を計測して熱画像データを得る熱画像計測手段と、前記熱画像データを画像表示する表示手段と、を具備する電極検査装置。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された電極パターンの所定箇所に接触して電気的な接続を行う複数の接触端子と、前記複数の接触端子の内の少なくとも一対の接触端子に所定電力を供給する電力供給手段と、前記基板上の温度分布を計測して熱画像データを得る熱画像計測手段と、前記熱画像データを入力し熱画像を表示する表示手段と、を具備することを特徴とする電極検査装置。

IPC (5件)：

G01R 31/302 , G01N 25/72 , G01R 31/02 , H01J 9/42 , H01J 9/50

FI (5件)：

G01R 31/28 L , G01N 25/72 F , G01R 31/02 , H01J 9/42 A , H01J 9/50 A

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