特許
J-GLOBAL ID：200903036029292876
変位検出器
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-254114
公開番号（公開出願番号）：特開平6-074706
出願日： 1992年08月28日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：
【要約】【目的】 非接触で小さなギャップの変位量を検出する変位センサを用いて、大きなギャップの変位を精度よく検出することのできる変位検出器を提供する。【構成】 検出する方向と平行な平面に非接触で変位量を検出する変位センサ1,2,3,4を配置し、該変位センサに対向するターゲット面13,14,15,16を前記平面に対して傾斜させて、検出する方向の変位に対して出力が取れるように構成したことを特徴とする変位検出器。
請求項（抜粋）：
検出する方向と平行な平面に非接触で変位量を検出する変位センサを配置し、該変位センサに対向するターゲット面を前記平面に対して傾斜させて、前記ターゲット面との変位を前記変位センサによって検出することにより、前記検出する方向の変位に対して出力が取れるように構成したことを特徴とする変位検出器。
IPC (2件)：
引用特許：
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