特許
J-GLOBAL ID：200903036033051743
シャドウマスクの検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-030224
公開番号（公開出願番号）：特開平6-242014
出願日： 1993年02月19日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：
【要約】【目的】両表面開口部が広く中央が狭い貫通孔で、しかも中央部と周辺部とで断面形状の異なる多数の貫通孔を有するシャドウマスクに光線を照射してその透過光を測定することにより上記貫通孔パターンの良否を判定する装置を提供すること。【構成】上記シャドウマスク1を載置して回転させるターンテーブル2と、このシャドウマスク1に対して斜め方向から光線を照射する光源3、3’と、貫通孔を透過した光線を検出する検出器4、4’とを備える。斜め方向に光線が透過するため表面欠陥を検出でき、しかもシャドウマスク1の回転により全周に渡って検査できる。
請求項（抜粋）：
電子線を透過させる多数の貫通孔を備える金属板から構成されるシャドウマスクの一部に光線を照射し、その透過量を測定してこの照射領域にある貫通孔の良否を判定するシャドウマスクの検査装置において、上記シャドウマスクを載置してこれを回転させる透明なターンテーブルと、このシャドウマスクに対して斜め方向から光線を照射する光源と、上記シャドウマスクの貫通孔を透過した光線を検出する検出器とを備えることを特徴とするシャドウマスクの検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01B 11/24
, G01M 11/00
