特許
J-GLOBAL ID：200903036033708360
加速度センサー
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮田 信道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-233272
公開番号（公開出願番号）：特開平10-078452
出願日： 1996年09月03日
公開日（公表日）： 1998年03月24日
要約：
【要約】【課題】 一定周期以上の長い周期で緩やかに変化する加速度や、物体にかかるほぼ一定の加速度を好適に検出することができる加速度センサーの提供。【解決手段】 可撓性を有し、且つ圧電層1の表面に、該圧電層1に分布する圧電検出素子2の出力信号を取り出す為の検出電極3、及び該圧電層1に分布する圧電振動素子4に励振信号を印加する為の入力電極5を設けると共に、前記圧電層1の裏面に前記検出電極3及び入力電極5に対応する対向電極を設けたセンサー本体を具備する加速度センサー。
請求項（抜粋）：
可撓性を有し、且つ圧電層(1)の表面に、該圧電層(1)に分布する圧電検出素子(2)の出力信号を取り出す為の検出電極(3)、及び該圧電層(1)に分布する圧電振動素子(4)に励振信号を印加する為の入力電極(5)を設けると共に、前記圧電層(1)の裏面に前記検出電極(3)及び入力電極(5)に対応する対向電極を設けたセンサー本体(7)を具備することを特徴とする加速度センサー。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P 15/09
, H01L 41/08 Z
