特許
J-GLOBAL ID：200903036044036827
ニッケル・クロム合金製シ-ト状物の表面平坦化方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-168257
公開番号（公開出願番号）：特開2004-009242
出願日： 2002年06月10日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：
【課題】ボ-ルグリッドアレイ(BGA)型パッケ-ジのグリッド基板を、樹脂を素材とした射出成形で製造できるようにするため、ワイヤ並みの0.2mm以下の薄い厚みを有し、平面平坦性に優れたニッケル・クロム合金製中子を得たい。【解決手段】テ-ブル4上に設けられた電磁チャック6上に弾性シ-ト25を敷設し、その上にニッケル・クロム合金製シ-ト状物の薄い厚みのワ-ク2を載置させた後、電磁チャックの磁性で前記ワ-クを固定し、該ワ-クと回転する多孔質セラミック砥石車3とを相対的に移動させてワ-ク表面を研削することを特徴とする、シ-ト状物の表面平坦化方法。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
テ-ブル上に設けられた電磁チャック上に弾性シ-トを敷設し、その上にニッケル・クロム合金製シ-ト状物の薄い厚みのワ-クを載置させた後、電磁チャックの磁性で前記ワ-クを固定し、該ワ-クと回転する多孔質セラミック砥石車とを相対的に移動させてワ-ク表面を研削することを特徴とする、シ-ト状物の表面平坦化方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (8件)：
3C034AA07
, 3C034BB73
, 3C034DD20
, 3C043BA01
, 3C043BA16
, 3C043CC03
, 3C043DD05
, 3C043EE04
