カラーフィルター付き基板、カラーフィルター付き基板の製造方法及びカラーフィルター付き基板製造装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：近島一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-263313
公開番号（公開出願番号）：特開平10-111657
出願日： 1996年10月03日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：

【要約】【課題】カラーフィルター形成時に生じる残渣を、カラーフィルターにダメージを与えることなく完全に除去することのできるカラーフィルター付き基板、カラーフィルター付き基板の製造方法及びカラーフィルター付き基板製造装置を提供する。【解決手段】塗布工程により基板2a上に塗布された感光性樹脂11aに対して露光工程により露光を行い、この後の現像工程により感光性樹脂11aの露光部分11A以外の部分を除去する一方、除去工程におけるコロナ放電より、現像工程の際除去されずに残った感光性樹脂の露光部分11A以外の部分11Bを分解除去するようにする。

請求項（抜粋）：

着色された感光性樹脂を基板上に塗布した後、フォトリソ工程にてパターニングすることにより複数のカラーフィルターが順次形成されたカラーフィルター付き基板において、前記フォトリソ工程の後、前記感光性樹脂のカラーフィルタ形成部分以外の残渣部分をコロナ放電にて分解除去するようにしたことを特徴とするカラーフィルター付き基板。

IPC (2件)：

G09F 9/00 , G02F 1/1335 505

FI (2件)：

G09F 9/00 , G02F 1/1335 505

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