特許
J-GLOBAL ID：200903036053579710
レーザ加工装置およびレーザ加工用光学装置
出願人/特許権者：
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-003311
公開番号（公開出願番号）：特開平8-192282
出願日： 1995年01月12日
公開日（公表日）： 1996年07月30日
要約：
【要約】【目的】 この発明はレーザ光を内部に導入するための窓部材が汚れても、被加工物を照射するレーザ光の強度を一定に維持できるようにしたレーザ加工装置を提供することにある。【構成】 被加工物にレーザ光を照射して加工するレーザ加工装置において、レーザ光を透過する窓部材7を有し内部に上記被加工物8が配置される気密容器1と、上記レーザ光を出力するレーザ発振器11と、このレーザ発振器から出力されるレーザ光を上記窓部材から上記気密容器内へ入射させる光学装置15と、上記被加工物がレーザ光によって照射されることで発生する飛散物が付着する上記窓部材の汚れ度合を検出するセンサ18と、このセンサからの検出信号によって上記レーザ発振器の出力を制御するコントローラ21とを具備したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
被加工物にレーザ光を照射して加工するレーザ加工装置において、レーザ光を透過する窓部材を有し内部に上記被加工物が配置される気密容器と、上記レーザ光を出力するレーザ発振器と、このレーザ発振器から出力されるレーザ光を上記窓部材から上記気密容器内へ入射させる光学手段と、上記被加工物がレーザ光によって照射されることで発生する飛散物が付着する上記窓部材の汚れ度合を検出する検出手段と、この検出手段からの検出信号によって上記レーザ発振器の出力を制御する制御手段とを具備したことを特徴とするレーザ加工装置。
IPC (3件)：
引用特許：
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