特許

J-GLOBAL ID：200903036060307032

真空ポンプ

発明者： 大立 好伸
出願人/特許権者： ビーオーシーエドワーズテクノロジーズ株式会社
代理人 (1件)： 川井 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-108780
公開番号（公開出願番号）：特開2002-303294
出願日： 2001年04月06日
公開日（公表日）： 2002年10月18日
要約：

【要約】【課題】 ダンパの内外に圧力差が生じた場合でも、良好な振動減衰能力を実現できる真空ポンプを提供すること。【解決手段】 真空ポンプの吸気口にはダンパが形成されている。このダンパは、真空装置の下部に設けられた排気口に接続され、この真空ポンプは、真空装置からつり下げられる。真空ポンプの底部には、コイルばねの一端が取り付けられており、コイルばねの他端は、真空ポンプの下の固定物に取り付けられるようになっている。このコイルばねは、ダンパを伸ばす方向に復元力が作用する。真空ポンプが作動すると、ダンパ部の内部が真空になるため、大気圧によりダンパ部が圧縮されて収縮しようとするが、コイルばねの復元力により、ダンパは伸張される。このため、ダンパの収縮に伴う弾性率の減少を低減することができ、これによって、ダンパの振動吸収能力を維持することができる。

請求項（抜粋）：

吸気口及び排気口が形成されたケーシングと、前記ケーシング内に収納され、前記吸気口を介して被排気容器から前記被排気容器内の気体を吸気し、前記排気口から排気する排気手段と、前記排気手段にて発生した振動を吸収する、一端が前記吸気口に連接され、他端が前記被排気容器に連接するダンパと、前記排気手段が前記吸気口から気体を吸気している際に、外気圧によって圧縮されて収縮した前記ダンパを伸張する伸張手段と、を備えたことを特徴とする真空ポンプ。

IPC (3件)：

F04D 19/04 ,  F04D 29/44 ,  F04D 29/66

FI (5件)：

F04D 19/04 G ,  F04D 29/44 P ,  F04D 29/44 W ,  F04D 29/66 G ,  F04D 29/66 L

Fターム (16件)：

3H031DA02 ,  3H031EA07 ,  3H031FA37 ,  3H031FA39 ,  3H034AA01 ,  3H034AA02 ,  3H034AA12 ,  3H034BB01 ,  3H034BB08 ,  3H034BB11 ,  3H034CC07 ,  3H034DD02 ,  3H034DD20 ,  3H034DD28 ,  3H034DD30 ,  3H034EE06