特許

J-GLOBAL ID：200903036070091372

化学反応装置及び燃料電池システム並びにその製造方法

発明者： 竹山 啓之
出願人/特許権者： カシオ計算機株式会社
代理人 (1件)： 鹿嶋 英實
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-245141
公開番号（公開出願番号）：特開2004-089748
出願日： 2002年08月26日
公開日（公表日）： 2004年03月25日
要約：

【課題】マイクロリアクタに用いる薄膜ヒータ及び配線電極等の形成面に被覆される保護膜を良好に平坦化するとともに、配線電極の上面を保護膜から露出させた化学反応装置及びその製造方法を提供し、これにより、装置規模が小型化された化学反応装置を、燃料供給装置等に適用した燃料電池システムを提供する。【解決手段】マイクロリアクタは、主基板10の一面側に形成され、閉止基板30により開放端が閉止された反応流路20と、主基板10の他面側に、上記反応流路20の形成領域に対応して形成された金属酸化膜又は金属窒化膜からなる薄膜ヒータ40と、薄膜ヒータ40上に積層形成され、少なくとも上面が金(Au)により構成された配線電極50と、該配線電極50の上面領域を除く、上記薄膜ヒータ40を含む主基板10上の領域を被覆するように形成された酸化物系や窒化物系の絶縁性保護膜60と、を有して構成されている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

少なくとも連続的に形成された反応流路を有し、該反応流路内で第1の流体物質を第2の流体物質に変換する化学反応を生じる化学反応装置において、 前記反応流路を含む領域に対応して形成され、前記反応流路に所定の熱量を供給する温度調整層と、 該温度調整層の所定の領域に形成され、前記温度調整層において前記熱量を発生させるための電力を供給する配線電極と、 前記配線電極の上面高さを基準として、少なくとも前記配線電極の上面を露出させるとともに、前記温度調整層を含む領域に所定の平坦性を有するように形成された絶縁性の保護膜と、 を備えることを特徴とする化学反応装置。

IPC (6件)：

B01J19/24 ,  B01J19/00 ,  C01B3/32 ,  C01B3/38 ,  C01B3/48 ,  H01M8/06

FI (6件)：

B01J19/24 A ,  B01J19/00 321 ,  C01B3/32 A ,  C01B3/38 ,  C01B3/48 ,  H01M8/06 A

Fターム (32件)：

4G075AA03 ,  4G075AA39 ,  4G075AA45 ,  4G075AA62 ,  4G075AA63 ,  4G075BA05 ,  4G075BB02 ,  4G075BD14 ,  4G075BD26 ,  4G075CA02 ,  4G075CA13 ,  4G075CA54 ,  4G075CA57 ,  4G075EC21 ,  4G075EE12 ,  4G075EE34 ,  4G075FB02 ,  4G140EA02 ,  4G140EA06 ,  4G140EA07 ,  4G140EB03 ,  4G140EB14 ,  4G140EB33 ,  4G140EB35 ,  4G140EB42 ,  4G140EB46 ,  5H027AA02 ,  5H027BA01 ,  5H027BA16 ,  5H027BA17 ,  5H027KK42 ,  5H027MM21