特許

J-GLOBAL ID：200903036070340879

物理量測定装置

発明者： 和田 一郎
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-199529
公開番号（公開出願番号）：特開平6-042990
出願日： 1992年07月27日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、セラミックスパイプに容易、かつ、適切に金属電極を取付け可能とし、またポア等の欠陥の少ない安定した測定管部を得ることにある。【構成】 焼成セラミックス管1aの外側に少くとも一対の測定電極2,2或いは少くとも一対の測定電極2,2と一対のシールドドライブ用電極3,3とを配置するとともに、これら電極を含む前記焼成セラミックス管の外側を未焼成セラミックス1bで覆い、しかる後、焼成を行って未焼成セラミックスを焼成セラミックス管に拡散接合して一体化し、同時に電極を封じ込めてなる測定管部とする物理量測定装置である。

請求項（抜粋）：

焼成セラミックス管の外側に少くとも一対の測定電極或いは少くとも一対の測定電極と一対のシールドドライブ用電極とを配置するとともに、これら電極を含む前記焼成セラミックス管の外側を未焼成セラミックスで覆い、焼成により当該未焼成セラミックスを前記焼成セラミックス管に拡散接合して一体化し、かつ、前記電極を封じ込めて測定管部とすることを特徴とする物理量測定装置。