特許

J-GLOBAL ID：200903036073974380

光学特性測定装置及びその光学特性測定装置を備える成膜装置

発明者： 石川 博一 ,  本庄 禎治
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 岡▲崎▼ 信太郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-001191
公開番号（公開出願番号）：特開2000-199731
出願日： 1999年01月06日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
要約：

【要約】【課題】 光学薄膜の表面の状態に拘わらず、光学薄膜の光学特性を精度良く容易に測定することができる光学特性測定装置及びその光学特性測定装置を備える成膜装置を提供すること。【解決手段】 光学特性を有する光学薄膜の前記光学特性を測定するための光学特性測定装置1であって、前記光学薄膜に対して光を照射する光照射手段3と、内周面が球状の拡散反射面であり、前記光学薄膜からの前記光を集光するための集光手段5と、前記集光手段5によって集光された光量を検出するための光検出手段7と、前記光検出手段7の光量に基づいて前記光学薄膜の光学特性を測定するための測定手段9とを備え、連続して送られてくる被測定物としての前記光学薄膜の光学特性を測定する。

請求項（抜粋）：

光学特性を有する光学薄膜の前記光学特性を測定するための光学特性測定装置であって、前記光学薄膜に対して光を照射する光照射手段と、内周面が球状の拡散反射面であり、前記光学薄膜からの前記光を集光するための集光手段と、前記集光手段によって集光された光量を検出するための光検出手段と、前記光検出手段の光量に基づいて前記光学薄膜の光学特性を測定するための測定手段とを備え、連続して送られてくる被測定物としての前記光学薄膜の光学特性を測定することを特徴とする光学特性測定装置。

IPC (3件)：

G01M 11/02 ,  G01M 11/00 ,  G01N 21/49

FI (3件)：

G01M 11/02 B ,  G01M 11/00 T ,  G01N 21/49 A

Fターム (11件)：

2G059AA02 ,  2G059BB10 ,  2G059EE02 ,  2G059EE12 ,  2G059FF01 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ16 ,  2G059JJ17 ,  2G059KK01 ,  2G086EE04 ,  2G086EE12