特許

J-GLOBAL ID：200903036080427328

再剥離用水分散型アクリル系粘着シート及びそれに用いる粘着剤組成物

発明者： 神谷 克彦 ,  チャーリー マテュー ,  山本 和彦 ,  渡辺 敬介 ,  松村 健
出願人/特許権者： 日東電工株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-307474
公開番号（公開出願番号）：特開2003-082307
出願日： 2001年10月03日
公開日（公表日）： 2003年03月19日
要約：

【要約】【課題】水系で塗工できる水分散型の粘着剤を実現し、特に半導体ウエハ加工用粘着シートとして好適に用いることのできる被着体表面への汚染が少ない再剥離用水分散型アクリル系粘着シートを提供することを目的とする【解決手段】アクリルエマルション系重合体を主成分とする粘着剤組成物を粘着剤層として支持体上に設けてなり、被着体に貼着後再剥離する水分散型アクリル系粘着シートであって、粘着シートをアルミ蒸着ウエハに貼付し、40°C、24時間保存後に再剥離した場合に、アルミ蒸着ウエハ上の炭素原子の増加量が5atomic%以下、さらには粘着シートを4インチミラーウエハに貼付し、23°C、1時間保存後に再剥離した場合に、ミラーウエハ上の0.28μm以上のパーティクル数が25個/4インチウエハ以下である低汚染性の再剥離用水分散型アクリル系粘着シート。

請求項（抜粋）：

アクリルエマルション系重合体を主成分とする粘着剤組成物を粘着剤層として支持体上に設けてなり、被着体に貼着後再剥離する水分散型アクリル系粘着シートであって、当該粘着シートをアルミ蒸着ウエハに貼付し、40°C、24時間保存後に再剥離した場合に、アルミ蒸着ウエハ上の炭素原子の増加量が5atomic%以下である再剥離用水分散型アクリル系粘着シート。

IPC (4件)：

C09J 7/02 ,  C08F 2/24 ,  C08F220/00 ,  C09J133/00

FI (4件)：

C09J 7/02 Z ,  C08F 2/24 A ,  C08F220/00 ,  C09J133/00

Fターム (46件)：

4J004AA10 ,  4J004AB01 ,  4J004AB05 ,  4J004AB06 ,  4J004CA04 ,  4J004CA05 ,  4J004CA06 ,  4J004CA08 ,  4J004CD08 ,  4J004DA04 ,  4J004EA01 ,  4J004FA04 ,  4J004FA05 ,  4J011KA06 ,  4J011KA10 ,  4J011KA15 ,  4J011KB22 ,  4J011KB29 ,  4J040DF041 ,  4J040DF051 ,  4J040EB132 ,  4J040GA01 ,  4J040GA05 ,  4J040GA07 ,  4J040GA11 ,  4J040GA22 ,  4J040HB14 ,  4J040HB41 ,  4J040HB44 ,  4J040HC13 ,  4J040HC16 ,  4J040HC22 ,  4J040HD13 ,  4J040JA03 ,  4J040KA11 ,  4J040KA38 ,  4J040LA02 ,  4J040LA08 ,  4J040MA02 ,  4J040MA10 ,  4J040MB03 ,  4J040NA20 ,  4J040PA23 ,  4J040PA30 ,  4J040PA32 ,  4J040PA42

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 半導体シリコンウエハの研磨方法および該方法に用いる粘着テープ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-182167   出願人：三井東圧化学株式会社
• 特開平4-186832
  
• 再剥離型粘着剤及びその粘着部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-131224   出願人：日東電工株式会社