特許
J-GLOBAL ID：200903036083209186
駆動回路一体型電子銃、駆動回路一体型電子銃アレイ、およびこれらの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
八田 幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-122806
公開番号（公開出願番号）：特開平7-335117
出願日： 1994年06月03日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：
【要約】【目的】 電子銃の密度を小さくすることなく、駆動回路を一体化した駆動回路一体型電子銃アレイを提供する。【構成】 少なくとも1個以上の電子銃12と、該電子銃12の下方に配設された駆動回路3、4、5、6がドレイン電極10によって接続された駆動回路一体型電子銃をアレイ状に配置した駆動回路一体型電子銃アレイ。【効果】 駆動回路の上にも電子銃を形成できるので、電子銃の密度が向上する。
請求項（抜粋）：
少なくとも1個以上の電子銃と、該電子銃を駆動する駆動回路とよりなり、該駆動回路が該電子銃の下方に配設されていることを特徴とする駆動回路一体型電子銃。
IPC (5件)：
H01J 1/30
, H01J 9/02
, H01L 21/306
, H01J 29/04
, H01J 31/15
