特許

J-GLOBAL ID：200903036089242908

カーボン薄膜被覆を有する摺動部材およびその製造方法

発明者： 馬場 恒明 ,  角谷 桃子 ,  長坂 浩志 ,  宮坂 松甫 ,  阿部 亨 ,  永井 弘
出願人/特許権者： 長崎県 ,  株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-250432
公開番号（公開出願番号）：特開2001-072986
出願日： 1999年09月03日
公開日（公表日）： 2001年03月21日
要約：

【要約】【課題】 耐摩耗性および摺動性に優れたDLC膜あるいは非晶質カーボン膜をPSII法により被覆した摺動部材およびその製造方法を提供する。【解決手段】 基材3の周囲にプラズマを形成し、基材に負のパルス電圧を印加することによってイオン注入を行うプラズマソースイオン注入法により作製したダイヤモンドライクカーボン膜あるいは非晶質カーボン膜であって、水素含有量が30原子%未満である薄膜を摺動面に被覆した。

請求項（抜粋）：

基材の周囲にプラズマを形成し、基材に負のパルス電圧を印加することによってイオン注入を行うプラズマソースイオン注入法により作製したダイヤモンドライクカーボン膜あるいは非晶質カーボン膜であって、水素含有量が30原子%未満である薄膜を摺動面に被覆したことを特徴とする摺動部材。

IPC (6件)：

C10M103/02 ,  C09D 1/00 ,  F16C 33/24 ,  F16J 15/12 ,  G11B 5/72 ,  C10N 40:18

FI (5件)：

C10M103/02 Z ,  C09D 1/00 ,  F16C 33/24 Z ,  F16J 15/12 Z ,  G11B 5/72

Fターム (18件)：

3J011CA05 ,  3J011DA02 ,  3J011QA04 ,  3J011SE02 ,  3J040EA46 ,  3J040FA11 ,  4H104AA04A ,  4H104LA03 ,  4H104PA01 ,  4H104PA16 ,  4H104PA19 ,  4H104QA12 ,  4J038AA011 ,  4J038HA021 ,  5D006AA02 ,  5D006AA05 ,  5D006DA03 ,  5D006FA02