特許
J-GLOBAL ID:200903036090851764
2次元位置決め装置
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-184573
公開番号(公開出願番号):特開2003-005835
出願日: 2001年06月19日
公開日(公表日): 2003年01月08日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 2次元方向に移動するスライダの移動方向先端に蓄積する埃をオーバートラベル位置を検出した際に自動的に取り除くようにする。【解決手段】 四角形状に形成したプラテン上をX軸及びY軸方向に移動できるスライダと、このスライダの動きを制御するサーボドライバと、プラテンのX軸及びY軸方向端部のそれぞれに設けたX軸/Y軸ストッパーにスライダのオーバートラベルを検出するX軸/Y軸OT位置検出部と、からなる2次元位置決め装置であって、X軸/Y軸ストッパーに、前記スライダに付着している埃を除去する手段を備え、スライダがX軸/Y軸OT位置検出部で検出されたときに、埃を除去手段に接触させて埃を取り除くと共に、この埃をスライダを移動させてプラテンのコーナーに移動させる、X軸/Y軸OT位置検出部で検出した位置を基準にして原点復帰動作をする。
請求項(抜粋):
四角形状に形成したプラテンと、該プラテンと平面モータを形成し、前記プラテン上をX軸及びY軸方向に移動できるスライダと、該スライダの動きを制御するサーボドライバと、前記プラテンのX軸及びY軸方向端部のそれぞれに設けたX軸/Y軸ストッパーに前記スライダのオーバートラベルを検出するためのOTX/OTYラインを形成するX軸/Y軸OT位置検出部と、前記OTX/OTYライン側のストッパーであって、OTXラインとOTYラインとが交差する原点復帰位置よりも遠い位置に、前記スライダに付着している埃を除去する埃除去部と、を備えた2次元位置決め装置であって、前記スライダが前記X軸/Y軸OT位置検出部で検出されたときに、該スライダに付着している埃を、前記埃除去部に接触させて取り除くと共に、スライダの移動方向前端部で前記取り除かれた埃を押して前記プラテンのコーナーに移動させる動作を行うようにしたことを特徴とする2次元位置決め装置。
IPC (2件):
FI (2件):
G05D 3/00 A
, G05D 3/10 G
Fターム (14件):
5H303AA01
, 5H303AA04
, 5H303BB02
, 5H303BB07
, 5H303BB12
, 5H303CC03
, 5H303DD01
, 5H303EE03
, 5H303EE07
, 5H303FF01
, 5H303GG02
, 5H303GG11
, 5H303HH01
, 5H303KK08
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