特許
J-GLOBAL ID：200903036093153758
磁気記録媒体の製造方法及び装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-220857
公開番号（公開出願番号）：特開平8-063746
出願日： 1994年08月24日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：
【要約】【目的】 成膜処理中におけるフレークの発生や基板の成膜面へのアークの発生を防止して、成膜の品質向上と、生産性の向上を図ること。【構成】 真空槽22内にてウェブ状の基板21はシート状の放電プラズマ流23に対峙させて走行させると共に、対峙している放電プラズマ流23および基板21を交差する方向に電界形成手段27によって電界を発生させながら、放電プラズマ流23に反応ガスを供給して、基板21の放電プラズマ流23側の表面に薄膜の形成を行うことで、フレークの発生を防止し、また、基板21の成膜面へのアークの発生を防止する。
請求項（抜粋）：
真空槽内に形成されたシート状の放電プラズマ流に反応ガスを供給する一方で、ウェブ状の基板を前記放電プラズマ流の近傍に走行させ、前記放電プラズマ流による前記反応ガスの気相反応によって放電プラズマ流側に面した前記基板の表面に所定成分の薄膜を形成する磁気記録媒体の製造方法であって、成膜処理用の真空環境を提供する真空槽内にて前記基板は前記放電プラズマ流に対峙させて走行させると共に、対峙している放電プラズマ流および基板を交差する方向に電界を発生させながら薄膜の形成を行うことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
IPC (3件)：
G11B 5/84
, C23C 16/50
, G11B 5/85
