特許

J-GLOBAL ID：200903036093934202

ペリクル接着装置

発明者： 鈴木 正樹 ,  新郷 健太郎
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-248790
公開番号（公開出願番号）：特開平5-088358
出願日： 1991年09月27日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：

【要約】【目的】 ペリクルフレームの全周を完全接着し、ゴミの侵入を防いで露光欠陥を防止できるペリクル接着装置を提供することを目的とする。【構成】 ペリクルフレーム4,5の加圧力に比べ、加圧時変形に対する反力が十分小さい弾性加圧子37,38と、ペリクルフレーム4,5全周に沿って弾性加圧子37,38を介して流体圧力を均一に加える加圧手段とを設けることにより、レクチルガラス1とペリクルフレーム4,5を均一に接着することができる。

請求項（抜粋）：

レクチルガラスの両面または片面にペリクルフレームを加圧接着するペリクル接着装置において、ペリクルフレームへの加圧力に比べ、加圧時変形に対する反力が十分小さい弾性加圧子とペリクルフレーム全周に沿って弾性加圧子を介して流体圧力を均一に加える加圧手段を有するペリクル接着装置。

IPC (4件)：

G03F 1/14 ,  B29C 65/40 ,  H01L 21/027 ,  B29L 11:00

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-071852
  
• 特開昭62-038468