二次イオン、ならびに、直接およびまたは間接二次電子のための粒子検出器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大菅義之
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-510501
公開番号（公開出願番号）：特表2009-536776
出願日： 2006年05月11日
公開日（公表日）： 2009年10月15日
要約：

多目的で効率的な荷電粒子検出器であり、バイアス電圧を切り替えることにより、試料からの二次イオンまたは試料からの二次電子(SE)、あるいは後方散乱電子から発生する二次電子(SE3)のいずれかを測定する検出器について記述する。検出器構造の基本バージョンと、必要最低限のものだけを装備した二つのバージョンを使うことで、次の検出の組み合わせが使用可能となる。:1.主要バージョンは、試料からの二次イオンもしくは試料からの二次電子を測定するか、または、こうした試料からの二次電子と共にかもしくは伴わずに、試料以外の部分に衝突する後方散乱電子由来の二次電子を測定するためのものである。2.試料からの二次イオンまたは試料からの二次電子の測定(SE3はない)。3.試料からの二次電子、および/または、試料以外の対象に衝突する後方散乱電子によって生じる二次電子の測定(イオンはない)。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

全て集束走査イオンビームおよび/または電子ビームから発生する、二次イオン、または二次電子または三次電子(SE3)を検出する粒子検出器であり、前記粒子検出器は、スパース収集電極、二次イオンを電子へ変換し、且つ導電性材料を含み、且つ前記スパース収集電極の後方に配置されている、複数のベネチアンブラインド板、前記複数のベネチアンブラインド板に隣接し、且つ前記粒子検出器の検出効率を増進する、一つ以上の追加電極、エネルギー電子の衝突の際にシンチレーション光子を作り出し、且つ前記複数のベネチアンブラインド板と前記一つ以上の追加電極とのそれぞれに対してバイアス可能である、発光円盤、ならびに、シンチレーション光子を光電子増倍管へ導く光ガイドを含み、前記粒子検出器がいずれかの種類の入射粒子を検出し、且つ前記電極の適正電圧を切り替えることで他の種類の入射粒子を除外することを特徴とする、粒子検出器。

IPC (1件)：

H01J 37/244

FI (1件)：

H01J37/244

Fターム (5件)：

5C033NN01 , 5C033NN05 , 5C033NN10 , 5C033NP01 , 5C033NP04

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭62-201385
特開昭62-040147

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