特許
J-GLOBAL ID：200903036098184996
ノズルプレートの製造方法、インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
小林 久夫
, 佐々木 宗治
, 木村 三朗
, 大村 昇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-285838
公開番号（公開出願番号）：特開2005-053066
出願日： 2003年08月04日
公開日（公表日）： 2005年03月03日
要約：
【課題】 単結晶シリコン基板を使用した高精度なノズルプレートの低コストな製造方法、その製造方法で製造されたノズルプレートを使用したインクジェットヘッド及びこのインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置を提供する。【解決手段】 単結晶シリコン基板3aにエッチングを施して、溶液を吐出するためのノズル穴11を有するノズルプレート3を製造する方法であって、ノズルプレート3となる単結晶シリコン基板3aの少なくとも1つの面の全体をエッチングすることにより、単結晶シリコン基板3aを薄くする工程を有するものである。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
単結晶シリコン基板にエッチングを施して、溶液を吐出するためのノズル穴を有するノズルプレートを製造する方法であって、
前記ノズルプレートとなる前記単結晶シリコン基板の少なくとも1つの面の全体をエッチングすることにより、前記単結晶シリコン基板を薄くする工程を有することを特徴とするノズルプレートの製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (8件)：
2C057AF93
, 2C057AG15
, 2C057AP13
, 2C057AP33
, 2C057AP34
, 2C057AP53
, 2C057AP56
, 2C057AQ02
