特許

J-GLOBAL ID：200903036099749385

セラミック抵抗体およびそれを用いた静電チャック

発明者： 会田 比呂史 ,  伊東 裕見子 ,  三上 一彦
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-215844
公開番号（公開出願番号）：特開平11-100271
出願日： 1998年07月30日
公開日（公表日）： 1999年04月13日
要約：

【要約】【課題】0〜50°Cにおける体積固有抵抗値が108 〜1012Ω・cmであり、200°C以下の温度下においてジョンソン・ラーベック力による高い吸着力が得られるセラミック抵抗体およびそれを用いた静電チャックを提供する。【解決手段】窒化アルミニウムを主成分とし、セリウムを酸化物(CeO2 )換算で2〜20モル%の範囲で含み、かつCeAlO3 を含有し、0〜50°Cにおける体積固有抵抗値が108 〜1012Ω・cmであるセラミック抵抗体を、被固定物を静電気力によって吸着保持する静電チャックとして用いる。

請求項（抜粋）：

窒化アルミニウムを主成分とし、セリウムを酸化物(CeO2 )換算で2〜20モル%の範囲で含み、かつCeAlO3 を含有し、0〜50°Cにおける体積固有抵抗値が108 〜1012Ω・cmであることを特徴とするセラミック抵抗体。

IPC (4件)：

C04B 35/581 ,  B23Q 3/15 ,  H01L 21/68 ,  H02N 13/00

FI (4件)：

C04B 35/58 104 B ,  B23Q 3/15 D ,  H01L 21/68 R ,  H02N 13/00 D

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開昭62-017074
  
• 特開昭63-215569
  
• 特開昭61-286266
  

審査官引用 (3件)

• 特開昭62-017074
  
• 特開昭63-215569
  
• 特開昭61-286266