特許

J-GLOBAL ID：200903036100438798

搬送装置

発明者： 清田 誠 ,  荒木 真一郎
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  東京エレクトロン九州株式会社
代理人 (1件)： 井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-108768
公開番号（公開出願番号）：特開平5-178407
出願日： 1992年04月01日
公開日（公表日）： 1993年07月20日
要約：

【要約】【目的】 搬送用の保持部材と収納部との間における被搬送物の受け渡しが正常であるか否かを検出して、搬送時のトラブルを避けること。【構成】 キャリアC内のウエハWを取り出し、あるいは収納するための進退自在な搬送用のピンセット3について、手前側の段部32からウエハの載置許容領域の限界位置例えば数mm先に光透過のための透孔33を形成する。一方ピンセット3が最大ストローク位置から若干引き出された時に透孔33が位置する場所を例えばキャリアCの直ぐ前を光路が横切る様に発光部51及び受光部52を設置し、ピンセット3を引き出したときにウエハWが正常位置に載置されているか否かを確認する。

請求項（抜粋）：

被搬送物収納部と、被搬送物を保持する進退自在な搬送用保持部材との間で被搬送物の受け渡しを行うための搬送装置において、前記搬送用保持部材上の予め設定した位置における被搬送物の有無を検出する検出部を設けたことを特徴とする搬送装置。

IPC (4件)：

B65G 1/00 ,  B65G 49/07 ,  B65H 7/14 ,  H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-106641
  
• 特開昭62-277744