特許

J-GLOBAL ID：200903036103746663

薄膜トランジスタ及びその形成方法

発明者： 吉岡 達男
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 池内 寛幸 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-125730
公開番号（公開出願番号）：特開2002-324904
出願日： 2001年04月24日
公開日（公表日）： 2002年11月08日
要約：

【要約】【課題】 ドレイン電極の最上層にAlまたはAl系合金を有し、画素電極がITOにより形成された薄膜トランジスタにおいて、工程の増加を伴わずに、画素電極とドレイン電極のコンタクトに伴う電気的腐食を回避する。【解決手段】 ゲート電極105aと同層に形成されたコンタクト用電極105bと、ドレイン電極上に設けられたパッシベーション膜109および平坦化膜110の最上面からコンタクト用電極に達するコンタクト用穴109bとを有する。コンタクト用電極は、ドレイン電極により半導体層のドレイン領域と接続される。平坦化膜上に形成された画素電極11が、コンタクト用穴を通してコンタクト用電極に接続される。

請求項（抜粋）：

ドレイン電極の最上層にAlまたはAl系合金を有するとともに、画素電極がITOにより形成された薄膜トランジスタにおいて、ゲート電極と同層に形成されたコンタクト用電極と、前記ドレイン電極上に設けられたパッシベーション膜および平坦化膜の最上面から前記コンタクト用電極に達するコンタクト用穴とを有し、前記コンタクト用電極は、前記ドレイン電極により半導体層のドレイン領域と接続され、前記平坦化膜上に形成された画素電極が、前記コンタクト用穴を通して前記コンタクト用電極に接続されていることを特徴とする薄膜トランジスタ。

IPC (6件)：

H01L 29/786 ,  G02F 1/1368 ,  G09F 9/30 338 ,  H01L 21/3205 ,  H01L 21/336 ,  H01L 21/768

FI (6件)：

G02F 1/1368 ,  G09F 9/30 338 ,  H01L 29/78 612 C ,  H01L 29/78 627 G ,  H01L 21/90 B ,  H01L 21/88 M

Fターム (92件)：

2H092HA04 ,  2H092JA34 ,  2H092JA37 ,  2H092JA41 ,  2H092JA45 ,  2H092JA46 ,  2H092KA05 ,  2H092MA30 ,  2H092NA30 ,  5C094AA31 ,  5C094AA42 ,  5C094AA43 ,  5C094BA03 ,  5C094CA19 ,  5C094DA13 ,  5C094DB04 ,  5C094EA04 ,  5C094EA05 ,  5C094EB02 ,  5C094FA01 ,  5C094FA02 ,  5C094FB01 ,  5C094FB02 ,  5C094FB12 ,  5C094FB14 ,  5C094FB15 ,  5C094GB10 ,  5F033GG04 ,  5F033HH08 ,  5F033HH09 ,  5F033HH18 ,  5F033HH22 ,  5F033HH38 ,  5F033JJ01 ,  5F033JJ08 ,  5F033JJ09 ,  5F033JJ18 ,  5F033JJ38 ,  5F033KK04 ,  5F033KK08 ,  5F033KK18 ,  5F033KK22 ,  5F033LL04 ,  5F033MM05 ,  5F033MM13 ,  5F033NN06 ,  5F033NN07 ,  5F033PP09 ,  5F033PP15 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ53 ,  5F033QQ65 ,  5F033QQ73 ,  5F033QQ83 ,  5F033VV06 ,  5F033VV15 ,  5F110AA14 ,  5F110AA16 ,  5F110AA26 ,  5F110BB01 ,  5F110CC02 ,  5F110DD02 ,  5F110DD13 ,  5F110EE06 ,  5F110EE42 ,  5F110FF02 ,  5F110FF30 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG25 ,  5F110GG45 ,  5F110GG47 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ12 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL06 ,  5F110HL07 ,  5F110HL11 ,  5F110HM18 ,  5F110NN04 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN35 ,  5F110PP01 ,  5F110PP03 ,  5F110PP10 ,  5F110PP13 ,  5F110PP29 ,  5F110QQ11