特許
J-GLOBAL ID:200903036104328466
AFMピンセット、AFMピンセットの製造方法および走査型プローブ顕微鏡
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
永井 冬紀
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-165641
公開番号(公開出願番号):特開2009-002870
出願日: 2007年06月22日
公開日(公表日): 2009年01月08日
要約:
【課題】走査型プローブ顕微鏡において、高精度な観察と、安定した把持とを両立させることができるAFMピンセットの提供。【解決手段】AFMピンセットは、三角柱部材の稜線の先端を走査型プローブ顕微鏡の探針として使用可能な第1のプローブ10Bと、第1のプローブ10Bに対して開閉自在に設けられた三角柱部材から成る第2のプローブ20Bとを備え、各三角柱部材の所定の周面がほぼ平行状態で対向するようにプローブ10B,20Bを並置した。そして、稜線の先端で試料を走査する際の試料との干渉を防止する切り欠き部100を、第1のプローブ10Bに形成した。【選択図】図2
請求項(抜粋):
三角柱部材の稜線の先端を走査型プローブ顕微鏡の探針として使用可能な第1のプローブと、前記第1のプローブに対して開閉自在に設けられた三角柱部材から成る第2のプローブとを、各三角柱部材の所定の周面がほぼ平行状態で対向するように並置したAFMピンセットであって、
前記稜線の先端で試料を走査する際の前記試料との干渉を防止する切り欠き部を、前記第1のプローブに形成したことを特徴とするAFMピンセット。
IPC (6件):
G01N 13/16
, G01N 13/10
, B25J 15/08
, B81B 3/00
, B81C 1/00
, B25J 7/00
FI (6件):
G01N13/16 101G
, G01N13/10 K
, B25J15/08 A
, B81B3/00
, B81C1/00
, B25J7/00
Fターム (20件):
3C007AS09
, 3C007BS03
, 3C007BS30
, 3C007DS01
, 3C007ES02
, 3C007ET08
, 3C007EU17
, 3C007HS10
, 3C007KS29
, 3C007KV11
, 3C007KX05
, 3C007XG05
, 3C081BA07
, 3C081BA43
, 3C081BA48
, 3C081BA53
, 3C081CA14
, 3C081CA23
, 3C081DA04
, 3C081EA19
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (8件)
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