特許

J-GLOBAL ID：200903036119957222

単結晶引き上げ方法

発明者： 和泉 輝郎
出願人/特許権者： 住友シチックス株式会社
代理人 (1件)： 井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-058863
公開番号（公開出願番号）：特開平9-249486
出願日： 1996年03月15日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：

【要約】【課題】 従来の単結晶引き上げ方法においては、種結晶を溶融液に浸漬した際に導入される転位を排除するために、径を細くしたネックを形成していた。しかし、その直径が12インチ以上と大口径で、大重量の単結晶を引き上げようとすると単結晶を支持することができず、落下が発生していた。また、落下を防止するためにネックの直径を太くすると、転位を排除することができず、単結晶に転位が伝播するという課題があった。【解決手段】 種結晶15を降下させる際、種結晶15の最下端15aと溶融液23との距離が10〜100mmとなったとき、一旦降下を停止して予熱を行い、その後降下速度を次第に小さくしていって、溶融液23に種結晶15を着液させ、その後、ネックを形成せずに単結晶16を引き上げる。

請求項（抜粋）：

種結晶を降下させ、坩堝内の溶融液に浸漬した後、該種結晶を引き上げることにより単結晶を成長させる単結晶の引き上げ方法において、前記種結晶を降下させる際、該種結晶の最下端と前記溶融液との距離が10〜100mmとなったとき一旦降下を停止して予熱を行い、その後降下速度を次第に小さくしていって前記溶融液に前記種結晶を着液させ、その後ネックを形成せずに単結晶を引き上げることを特徴とする単結晶引き上げ方法。

IPC (3件)：

C30B 15/22 ,  C30B 29/06 502 ,  H01L 21/208

FI (3件)：

C30B 15/22 ,  C30B 29/06 502 F ,  H01L 21/208 P