特許
J-GLOBAL ID:200903036126177941
感光性組成物
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
長谷川 曉司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-295183
公開番号(公開出願番号):特開平9-138500
出願日: 1995年11月14日
公開日(公表日): 1997年05月27日
要約:
【要約】【課題】 630〜1100nmの光、特に半導体レーザー光に高い感度を有する感光性組成物を提供する。【解決手段】 レゾール樹脂及び630〜1100nmの光の照射により酸を発生する光酸発生系を含む感光性組成物であって、該光酸発生系が630〜1100nmの領域に吸収を有する増感色素及び3個のハロゲン化アルキル基を有するs-トリアジン化合物を含有することを特徴とする。
請求項(抜粋):
レゾール樹脂及び630〜1100nmの光の照射により酸を発生する光酸発生系を含有する感光性組成物であって、該光酸発生系が630〜1100nmの領域に吸収を有する増感色素及び3個のハロゲン化アルキル基を有するs-トリアジン化合物を含有することを特徴とする感光性組成物。
IPC (3件):
G03F 7/004 503
, G03F 7/028
, G03F 7/038 505
FI (3件):
G03F 7/004 503
, G03F 7/028
, G03F 7/038 505
引用特許:
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