特許
J-GLOBAL ID：200903036130008240
イオン注入装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-012673
公開番号（公開出願番号）：特開平10-208687
出願日： 1997年01月27日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：
【要約】【課題】 エネルギーコンタミネーションの防止を効果的に行うことができるようする。【解決手段】 最終段のエネルギー加速部の後段に配置されたエネルギー分析部6のエネルギー分析磁場または電場の印加部に、目的とするエネルギーのイオンを導出する透孔部に向かう目的としないエネルギーのイオンを排除する排除手段30を配置する。
請求項（抜粋）：
最終段のエネルギー加速部の後段に配置されたエネルギー分析部のエネルギー分析磁場または電場の印加部もしくはその後段に、目的とするエネルギーのイオンを導出する透孔部に向かう目的としないエネルギーのイオンを排除する排除手段を配置したことを特徴とするイオン注入装置。
IPC (4件)：
H01J 37/317
, C23C 14/48
, H01J 37/05
, H01L 21/265
H01J 37/317 Z
, C23C 14/48 Z
, H01J 37/05
, H01L 21/265 603 B
