透明導電膜形成用塗布液、透明導電膜形成方法、液晶表示装置用薄膜トランジスタの製造方法、および液晶表示装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (3件)：東田潔 , 山下雅昭 , 打揚洋次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-172445
公開番号（公開出願番号）：特開2004-022224
出願日： 2002年06月13日
公開日（公表日）： 2004年01月22日
要約：

【課題】種々の用途に対応できる透明導電膜形成用塗布液、低温焼成で所定の物性を有する透明導電膜の形成方法、液晶表示装置用薄膜トランジスタの製法、および液晶表示装置の提供。【解決手段】必須成分としてインジウムの有機化合物および錫の有機化合物を溶解した有機溶媒中に、ITO複合酸化物の超微粒子粉末を溶解した塗布液。スピンコート法等により、該塗布液を透明基板上に塗布し・成膜した後、低温焼成して透明導電膜を形成。該塗布液を用いて、層間絶縁膜上に画素電極を形成して液晶表示装置用薄膜トランジスタを得る。この薄膜トランジスタを用いた液晶表示装置。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

必須成分としてインジウムの有機化合物および錫の有機化合物を溶解した有機溶媒中に、インジウムと錫とから形成されるITO複合酸化物の超微粒子粉末を溶解してなることを特徴とする透明導電膜形成用塗布液。

IPC (7件)：

H01B13/00 , C09D1/00 , C09D5/24 , C09D7/12 , G02F1/1343 , G02F1/1368 , H01B1/20

FI (7件)：

H01B13/00 503B , C09D1/00 , C09D5/24 , C09D7/12 , G02F1/1343 , G02F1/1368 , H01B1/20 A

Fターム (38件)：

2H092GA29 , 2H092HA04 , 2H092JA24 , 2H092JA46 , 2H092KA04 , 2H092KA05 , 2H092KB11 , 2H092KB14 , 2H092KB25 , 2H092MA04 , 2H092MA05 , 2H092MA08 , 2H092MA10 , 2H092MA13 , 2H092MA22 , 2H092MA27 , 2H092NA18 , 2H092NA25 , 2H092NA27 , 2H092NA28 , 2H092PA08 , 4J038AA011 , 4J038HA146 , 4J038HA216 , 4J038KA08 , 4J038KA12 , 4J038NA20 , 4J038PA01 , 4J038PA15 , 4J038PA19 , 4J038PB08 , 4J038PB09 , 5G301DA25 , 5G301DA28 , 5G301DD01 , 5G323BA02 , 5G323BB02 , 5G323BC01

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開平2-234309
特開平2-234309
透明導電膜およびその形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-237311 出願人：三菱マテリアル株式会社

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